公布日期:2022年06月17日

第3讲 关于工艺气体、芯片清洗液

何谓工艺气体

在半导体制造的成膜工序、蚀刻工序等多道工序中,均使用被统称为工艺气体的惰性气体、特殊气体等。
根据气体种类,SUS304等不锈钢材料也可能会被腐蚀。

<工艺气体示例>
甲硅烷 四氯硅烷 四氟化硅 氟利昂-116 五氟化磷
三氢化砷 乙矽烷 氟利昂-218 氟利昂-32 六氟化钨
磷化氢 三氟化硼 溴化氢 一氧化二氮 氟利昂-22
乙硼烷 三氯化硼 三氯硅烷 氟利昂-123
锗烷 氯化氢 三氟化氯 四氯化钛  
二氯硅烷 氟利昂-14 氟化氢  
硒化氢 三氟化氮 氟利昂-23 三氟化磷  

何谓芯片清洗液

为清除异物及微量杂质,有使用特殊清洗液清洗芯片的工序。
芯片清洗液中使用了SPM(硫酸过氧化氢水溶液)、FPM(氟酸过氧化氢水溶液)等溶解不锈钢等金属的物质。

<清洗液示例>
SC-1(氨过氧化氢水溶液)
SC-2(盐酸过氧化氢水溶液)
SPM (硫酸过氧化氢水溶液)
FPM (氟酸过氧化氢水溶液)
BHF (缓冲氟酸溶液)

NBK备有耐腐蚀性优异的耐药性螺丝。

在接触工艺气体和芯片清洗液的环境中也可以放心使用。
耐药性螺丝的全部产品系列请看这里
※耐药品性会根据使用条件而变化。请务必事先在与实际情况相同的使用条件下进行试验。

耐药性螺丝

金属系列
 
材质 MAT21 哈氏合金 C-22 哈氏合金C-276 镍铬合金 纯镍
代表产品名称 内六角螺栓
(钽)
内六角圆柱头螺栓
(MAT21)
内六角圆柱头螺栓
(相当于哈氏合金 C-22)
内六角圆柱头螺栓
(相当于哈氏合金 C-276)
内六角圆柱头螺栓
(相当于镍铬合金)
镍制
内六角圆柱头螺栓
代表型号 SNSTA SNSMT SNSH-C22 SNSH-C276 SNSI SNSN
  产品系列
请看这里
产品系列请看这里

 
材质 SUS316L SUS310S 钛合金
代表产品名称 内六角圆柱头螺栓
(SUS316L)
内六角圆柱头螺栓
(SUS310S)
高强度钛合金
内六角圆柱头螺栓
代表型号 SNSL SNSJ SNSTG
  产品系列请看这里 产品系列
请看这里

陶瓷、树脂系列
 
材质 碳化硅(SiC) Al2O3
(氧化铝99.5%)
PEEK GF30(含有玻璃纤维的聚醚醚酮) PEEK(聚醚醚酮) PTFE(聚四氟乙烯) 全氟烷氧基
代表产品名称 切口盘头小螺钉
(碳化硅)
陶瓷
内六角圆柱头螺栓
树脂螺丝
(PEEK GF30 / 内六角圆柱头螺栓)
树脂螺丝
(PEEK/十字槽盘头小螺钉)
树脂螺丝
(PTFE / 六角螺栓)
树脂螺丝
(PFA / 六角螺栓)
代表型号 SICX-SX SCX-C SPEG-C SPE-P SPT-H SPFA-H
  产品系列请看这里 产品系列请看这里

 
材质 Al2O3 (氧化铝99.5%) PTFE (聚四氟乙烯) SUSXM7 (相当于SUS304)
代表产品名称 盖帽 盖帽 盖帽用螺栓
代表型号 SCAP-CE SCAP-PT SNCPS
  产品系列请看这里
※请将盖帽(SCAP-CE 或 SCAP-PT)和盖帽用螺栓(SNCPS)组合使用。

SUSXM7(相当于SUS304) PTFE涂层(仅头部)
六角螺栓 (头部PTFE涂层)
SNHS-HTF
产品系列请看这里

产品介绍 术语说明 耐热性、耐腐蚀性 无尘、真空、无磁性 半导体生产设备 半导体行业与NBK 特殊螺丝
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