公布日期:2022年07月06日

第4讲 关于电子光束及离子

半导体生产设备中有使用电子光束及离子的装置。

使用电子光束及离子的装置

装置代表例
?电子光束描画装置
?电子光束曝光装置
?扫描电子显微镜
?离子注入装置
具体列举以上装置示例。

此类装置大多使用磁性较低的部件,以免对电子光束和离子产生影响。
此外,为了避免与空气中的分子碰撞,在真空环境下使用电子光束,因此大部分装置均配备了真空室。

请由此参看真空环境内容。

NBK提供无磁性产品。

请由此查看全部产品系列
 
材质 C5191(磷青铜) 64钛合金 純钛合金 钛合金 SUS316L
产品名称 内六角螺栓
(钽)
磷青铜内六角圆柱头螺栓 高强度钛合金内六角圆柱头螺栓 纯钛内六角圆柱头螺栓 高强度钛合金十字槽埋头小螺钉 内六角极短头螺栓(不锈钢制)
代表型号 SNSTA SNSP SNSTG SNST SNFTG SSHL
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产品系列请看这里 产品系列
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也有避免磁化部分的工具。
 
材质 64钛合金 CFRTP(碳纤维增强热可塑性树脂)
产品名称 钛合金六角扳手 CFRTP活动扳手
代表型号 SKHTG SKMWCP-200
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产品介绍 无尘、真空、无磁性 半导体生产设备 半导体行业与NBK 特殊螺丝
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